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直流电流-电压(I-V) 范围10 aA - 1A ,0.2 µV - 210 V
电容-电压(C-V) 范围:1 kHz - 10 MHz, ± 30V 直流偏置
脉冲 I-V范围:±40 V (80 V p-p),±800 mA,200 MSa/s,5 ns 采样率
用于 DC IV、CV 和脉冲 IV 测量类型的高级测量硬件
立即使用 Clarius 软件中所含的数百种用户可修改应用程序测试开始测试
自动实时参数提取、数据绘图、分析函数
同类产品中首款能够驱动1 V AC 电源电压的 CV 表
1 kHz 频率,分辨率从1 kHz 到 10 MHz
测量电容、电导和导纳
使用 4200A-CVIV 多路开关最多可测量四个通道
无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
用户可配置低电流功能
个性化输出通道名称
查看实时测试状态
泰克认证经销商杭州正东电子为您供应泰克半导体参数分析仪4200A-SCS
4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪,可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为高性能的参数分析仪, 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不 扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时 可以投入使用的应用测试,Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究过程,快速而又满怀信心。
4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配 置,不管是现在还是未来,都可以随时对系统进行升级。通过 4200A-SCS 参数分析仪,通往发现之路现在变得异常简便。
主要性能指标
I-V 源测量单元(SMU)
± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
100 fA测量分辨率
选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
100 μF负载电容
四象限操作
2 线或 4 线连接
C-V 多频率电容单元(CVU)
AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
1 kHz - 10 MHz 频率范围
± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源,可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
选配 CVIV 多通道开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
200 MSa/s,5 ns 采样率
±40 V (80 V p-p),±800 mA
瞬态波形捕获模式
任意波形发生器 Segment ARB® 模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率
高压脉冲发生器单元(PGU)
两个高速脉冲电压源通道
±40 V (80 V p-p),± 800 mA
任意波形发生器 Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针
把 C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
降低电缆电容效应
型号 | 说明 | 主要测量 | 范围 | 测量分辨率 |
4200-SMU | 中等功率源测量单元 | DC I-V | ±100 mA, ±210 V | 0.2 μV, 100 fA |
4210-SMU | 高功率源测量单元 | 超低频率 C-V | ±1 A, ±210 V | 0.2 μV, 100 fA |
4200-PA | 远程前端放大器模块 | 准静态 C-V | 扩展所有 SMU 的电流范围1 kHz - 10 MHz | 0.2 μV, 10 aA |
4210-CVU | 电容电压单元 | AC 阻抗 | ±30 V 内置DC 偏置装置(60 V 差分) | - |
使用 SMU 扩展直流偏置电压至±210V | ||||
4200A-CVIV | I-V/C-V 多通道开关模块 | DC I-V 和 C-V 自动切换 | - | - |
4225-PMU | 超快速脉冲测量单元 | 脉冲式 I-V | ±40 V (80 V p-p), ±800 mA | 75 nA |
200 MSa/s 同时测量电流和电压 | ||||
2048 个唯一段 | ||||
20 ns 脉宽仅输出时 | ||||
60 ns 脉宽输出同时测流时 | ||||
4225-RPM | 远程前段放大器 /开关模块 | DC I-V、C-V、脉冲式 I-V | 扩展 4225-PMU 单元的电流范围 | 200 pA |
4220-PGU | 高压脉冲发生器单元 | 脉冲式电压源 | ±40 V (80 Vp-p) | - |
2048 个唯一段 | ||||
接地单元 | 内置低噪声接地单元 | - | 三同轴连接 : 2.6 A | - |
接线柱 : 9.5 A |
CMOS 晶体管 | Id-Vg, Id-Vd, Ig-Vg, Vth, Vtlin, Sub-Vt, Rds-on, breakdown, capacitance, QSCV, Low-frequency CV, self-heating reduction and more |
BJT | Ic-Vc, Vcsat, Gummel plot, capacitance, βF, αF |
非易失性存储器 | Vth, endurance test, capacitance |
纳米尺寸器件 | Resistance, Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc |
分立元器件 | Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc, Vfdiode, Vrdiode, capacitance |
材料 | Van der Pauw, 4-point collinear resistivity, Hall Effect |
光伏器件 | Iforward, Ireverse, HiR, LoR |
功率器件 | Pulsed Id-Vg, pulsed Id-Vd, breakdown |
可靠性 | NBTI/PBTI, charge pumping, hot carrier injection, V-Ramp, J-Ramp, TDDB |
型号 | 描述 |
4200A-SCS-PKA | 4200A-SCS:参数分析仪主机 |
4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU | |
4200-PA:一个预放大器 | |
8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具 | |
4200A-SCS-PKB | 4200A-SCS:参数分析仪主机 |
4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU | |
4200-PA:一个预放大器 | |
4215-CVU:一个高分辨率多频 C-V 单元 | |
8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具 | |
4200A-SCS-PKC | 4200A-SCS:参数分析仪主机 |
4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU | |
4211-SMU:两个用于高容量设置的高功率 SMU | |
4200-PA:两个预放大器 | |
4215-CVU:一个高分辨率多频 C-V 单元 | |
8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具 | |
4200-BTI-A超快 | 用于使用尖端硅 CMOS 技术进行的复杂 NBTI 和 PBTI 测量 4200-BTI-A 套件包括: |