功率半导体·细分方案 | 器件测试解决方案

　　功率半导体器件是各类电子产品线路中不可或缺的重要组件。近年来，我国功率半导体器件制造企业通过持续的引进消化吸收再创新以及自主创新，产品技术含量及性能水平大幅提高。部分优质企业在细分产品领域的技术工艺水平已经达到国际先进水平，并凭借其成本、技术优势逐步实现进口替代。除了传统硅材料的功率半导体器件、碳化硅器件和氮化镓器件也正在不断走入人们的视野。为了助力功率半导体器件产业的品质和技术发展，航裕电源也在不断努力，推出更多智能便捷的可编程电源，解决更多实验研发室的测试难题。航裕电源功率半导体测试解决方案主要针对功率半导体器件测试和半导体设备供电两大方向，提供多种测试方案，满足不同测试需求。本文主要讲解功率半导体器件测试部分。

　　航裕电源目前主要面向的功率器件用户包括：IGBT、MOS管、碳化硅器件、氮化镓器件、二三级管、晶圆等材料。华润、青铜剑、众硅等众多一线企业，选用航裕电源方案

　　从图可知，功率半导体器件面对的电压环境随着运用环境的变化而变化，电压走向不断升高，器件在研发和生产的过程中，需要进行的测试条件也越来越严格。随着航裕电源与功率半导体行业用户合作的不断加深，航裕电源对于提供多种服务方案，也越来越丰富和专业，满足用户对于功率半导体器件静态/动态特性测试的需求，尤其在高压耐压、偏置、反偏、击穿等测试项目中表现出色。

　　功率半导体器件测试难点分析：

　　1、功率半导体器件耐压较高，一般从几千到一万伏不等，需要测量仪器具备高压输出和高压下nA级漏电流测试的能力;

　　2、功率半导体器件的电流输出能力很强，测试时需要快速注入1000A级电流，并完成压降的釆样;

　　3、由于功率半导体器件工作在强电流下，自加热效应明显，严重时容易造成器件烧毁;

　　4、功率半导体器件的漏电流越小越好，需要高精度的设备进行测试

　　航裕电源优势解析：

　　1、高电压小电流

　　(1)、HY-HV系列可编程高压直流电源最高可达200kV，可以覆盖功率半导体对高压测试的需求;

　　(2)、HY-HVL系列线性高压直流电源最高可达100kV，采用线性技术，电源精度高，噪声超低，纯净度好，非常适用于精密测试;

　　(3)、HY-HV系列和HY-HVL系列电源均可输出mA级高精度电流

　　2、精度高：电压/电流精度高，分辨率20bits，输入多级滤波电路，降低对电网谐波干扰;

　　3、功率密度高：体积小，效率高，高稳定性，使用双闭环控制电路，响应速度快，输出稳定;

　　4、品质稳定：应用领域广，行业测试痛点明确，输入与输出隔离，操作更安全;

　　5、选购丰富：根据行业可选择多种输出接口、程控接口、多种型号;

　　6、便于集成：集成于行业设备，占用空间小

测试分类和产品选择

1.高压测试类

测试项目：

　　■ 高压器件耐压测试■ 高压器件击穿测试

　　■ 高压绝缘测试

　　■ 高压电阻率测试

　　■ 二极管反偏测试

　　■ 高压器件老化

　　■ 高压直流输电

　　■ 高压放大器偏置

选用电源：

　　■ HY-HV系列可编程高压直流电源

　　■ HY-HVL系列线性高压直流电源

电源对比

2. 电流类测试

应用于：

　　■ 额定(极限)电流值测试

　　■ 集电极-最大集电极峰值电流测试

　　■ 集电极-截止电流测试

　　■ 微小电流测试

选用电源：

　　■ HY-PM系列可编程多功能直流电源(输出电流0-1500A)

　　■ HY-S系列1U超薄可编程直流电源(输出电流0-360A，可灵活并机)

　　■ HY-HVL系列线性高压直流电源(输出电流500μA-20mA，针对微小电流测试